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高纯气体在电子工业中的应用

2021-11-17 11:05:37

随着社会的发展,科学技术也向高、精、精的方向发展,对各种原料的“纯度”提出了更高的要求。但是生产高纯气体一般比较小,成本高。因此,青岛工业气体小编来告诉你如何正确、恰当地提出对原料气纯度的要求,如何选择高纯气体,已成为一个值得探讨的问题。

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一般人们常用百分浓度来表示一种气体的纯度,即几个“9”字的表达。例如,某些气体的浓度为99.9%意味着杂质含量为0.1%(即1000ppm)。很明显,在普遍认为99.995%的煤气比99.99%的煤气更纯的情况下,人们似乎觉得使用它更舒服。我们都知道,气体纯度越高,价格就越高,而且随着数字“9”的增加,价格上涨得越快。但是,如果只考虑纯度,显然忽略了高纯气体的价格和杂质的危害。就是这样,研究和生产都将产生负面影响。

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超纯气体有7种以上的“9”以上,很难解决,除了实验室部分可用,一般工业生产难以提供。因此,青岛工业气体从经济的角度来看,纯粹追求“气”的“九”在科学研究中仍是可以接受的,在一般生产中则是完全不可接受的。此,应根据气体中所含杂质的浓度以及该杂质对工艺的危害程度来选择高纯气体。这样做的原因是,虽然目前很难将气体中的杂质总量减少到低于LPPM,但仍有可能将有害杂质减少到l×10-9或更低。从目前的技术水平来看,硅总杂质含量不低于10-8(1ppm),但对磷、硼等有害电活性杂质的控制可达1×10~8~ L ×10。

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国外对高纯气体的定义不再简单地用几个“9”来表示,直接命名为不同用途的高纯气体。光谱纯度、原子能、电子、半导体、太阳能电池、外延、超大规模集成电路(ULSI)、研究等。这些参数只表明该等级的材料适合在某一特定地点使用,而不表明杂质的数量必须小于某一数值。正如化学试剂通常被分类为g.r., a.r.和c.P.,它们的纯度被分类为““一般化学试剂”,并不一定意味着某些物质或试剂的总杂质含量被减少到某个数量级。同一等级的不同物质和试剂所含杂质的数量可能相差几个数量级。根据不同用途选择材料的纯度,可以使我们在选择材料时更有针对性,克服盲目性。


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